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标题: 电镀机真空度下不来 [打印本页]

作者: jxsjb0631 时间: 2012-5-7 20:24
标题: 电镀机真空度下不来
小日本的机器，ULVAC VPC-260F型号，前几天清洗后发现：粗抽没什么问题，但把三厢阀以转到精抽
真空测量计就能从11 pa一下跳到2.2pa，又从2.2一下到7.0，等数据不断的跳动，各位高工，应该是什么问题
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作者: coatren 时间: 2012-5-7 20:24
很可能是扩散泵加热断路了，最好问供应商

作者: yuanhongbo2233 时间: 2012-5-7 20:24
第一：楼上说的，检查扩散泵下加热电阻丝是否断了。第二：重新装真空镀门的密封圈。第三:检查使用记录，看扩散泵油是否在半年内更换过。第四：检查真空镀机器后压力表压力是否足够。（另外可以看看再控制面板上电流和电压表压力是否有显示，数据为多少来来判断是否是内部线路问题）

作者: zhuodalin 时间: 2012-5-7 20:24
精抽不下来，先检查阀门是否漏气？你的抗散泵油太脏，要清洗。/:^$^无异常再定

作者: zhuodalin 时间: 2012-5-19 13:36
我路过。狠顶一下

作者: no.1 时间: 2012-5-20 14:02
赞同楼上的朋友观点
精抽不下来，先检查阀门是否漏气？你的抗散泵油太脏，要清洗。无异常再定
另补充点检查炉子密封圈周围是否有东西卡在当中，查看扩散泵有是太脏或是油太少。

作者: luojian19860920 时间: 2012-9-4 15:08
小日本的机器，ULVAC VPC-260F型号，前几天清洗后发现：粗抽没什么问题，但把三厢阀以转到精抽
真空测量计就能从11 pa一下跳到2.2pa，又从2.2一下到7.0，等数据不断的跳动，各位高工，应该是什么问题

作者: xiaowang 时间: 2012-9-17 22:02
哪里啊，怎么联系要不要人维修，13829150562潘生

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